电子行业
| 参数项目 | 技术指标 |
| 产品名称 | 电子级超纯水设备 |
| 产水量 | 2T/H - 500T/H |
| 设备材质 | UPVC / SUS304 / SUS316 |
| 产水电阻率 | 18.2 MΩ |
| 溶解硅 | < 0.5 ppb |
| 总有机碳 TOC | < 5 ppb |
| 微粒 (>0.05μm) | < 1 个 /ml |
| 微生物 | < 1 CFU/ml |
| 金属离子 | < 0.01 ppb |
| 工作压力 | 0.3 - 1.5MPa |
采用 "预处理 + 双级反渗透 + EDI 连续电除盐 + 抛光混床 + 终端超滤" 的全流程工艺,确保产水电阻率稳定达到 18.2MΩ・cm,有效去除水中的离子、微粒、有机物、细菌,杜绝因水质问题导致的产品良率下降、线路腐蚀、元器件损坏等问题。
电子行业应用优势
✅ 超高纯度:电阻率稳定 18.2MΩ・cm,满足 18nm 及以下芯片制程要求
✅ 微粒控制:终端精密过滤,0.05μm 微粒控制在 1 个 /ml 以内
✅ 连续稳定:模块化冗余设计,保障 7×24 小时不间断供水
✅ 智能监控:实时在线监测电阻率、TOC、微粒、离子等关键指标
✅ 节能高效:回收率高达 85%,浓水回收再利用,降低运行成本
✅ 定制方案:根据芯片、PCB、光伏等不同工艺选配专用处理单元
✅ 运维服务:专业运维团队,提供定期水质检测与系统维护